第331章 流片成功! (第3/3页)
“能拉到。”
他直起腰,
“负5次方没问题,就是没人敢这么用。”
“那就用。”林希说。
王铁山没再犹豫。
他抱着扳手绕到机器背面,拧开旁通阀。
苏佩兰深吸一口气,坐回操作台。
束流电流:10mA。
加速电压:50keV。
真空度读数开始往下掉。
10的负3次方。
负4次方。
分子泵的声音变得尖锐。
负5次方。
稳住了。
“注入。”林希说。
苏佩兰按下启动键。
机器轰鸣声骤然变调,像一头沉睡的野兽被唤醒。
离子束击中硅片表面。
六十秒。
一百二十秒。
注入结束。
苏佩兰取出硅片,双手端着,走到显微镜前。
车间里所有人的呼吸都停了。
她把硅片放上载物台,调焦。
看了三秒。
又调了一下倍率。
再看了五秒。
她抬起头。
嘴唇哆嗦了两下。
“均匀的。”
她的声音带着哭腔。
“深度完全一致。”
王铁山冲过去,把她从椅子上挤开,自己趴到目镜上看。
看完,他直起腰,一屁股坐在了地上。
“成了。”
两个字。
直播间弹幕彻底爆炸。
【流片成功!!!华国硅基芯片流片成功了!!!】
【1983年!自主光刻机+自主离子注入!流片流程打通!】
【这帮老师傅是真的牛,参数给到位了,手上的活一点不含糊】
【哭了哭了,跪在地上画版图,趴在机器前调参数,这就是华国芯片的第一步】
林希站在车间中央。
周围是沸腾的欢呼声。
林希转头看向窗外。
七月底的津门,太阳正落。
晚霞把整个二厂的厂房染成暗红色。
司徒渊不知道什么时候走到他旁边。
两人并排站着,看着窗外。
“林总。”司徒渊开口。
“嗯。”
“流片成功了,但这只是工程样片。”
司徒渊推了推眼镜。
“量产之前,还差最后一步,”
“封装,测试。”