第326章 出题与解题 (第3/3页)
说，“根据我们政府间的协议，在接下来的三个月里，我们将向各位全面展示Canon FPA-1200NZ2C纳米压印光刻机的操作流程、维护保养以及工艺参数设定。”
在进入巨大的超净车间前，一位不请自来的客人加入了他们。
“各位好，我是大卫·戴维森，”一个穿着KLA公司制服的阿美莉卡白人微笑着伸出手，“我是KLA派来协助佳能，确保我们的SpectraShape 11光学检测系统与NIL设备完美集成的技术顾问，很高兴能与各位共事。”
陈磊与他握了握手，心中警铃大作。
KLA是美国公司，是半导体良率控制的命脉。
一个技术顾问出现在这里，以陈磊在阿美莉卡工作的经历来看，这绝对不是什么巧合。
进入超净车间，那台FPA-1200NZ2C就静静地安放在那里。
它不像ASML的EUV光刻机那样如同一个巨大而笨重的怪兽，反而像一台充满未来感的医疗设备。
铃木的讲解堪称慷慨。
他详细展示了NIL设备的工作流程：
他展示了设备是如何像打印机一样，精准地将纳米级的树脂液滴喷涂在300mm的硅晶圆上，平整度误差控制在0.1纳米以内。
他们看到机械臂是如何以微米级的精度，将一块石英模板覆盖在晶圆上，并在真空环境下进行物理接触，将电路图案盖章上去。
整个压印过程在几秒钟内完成，通过紫外光照射，树脂迅速固化，电路图案被完美复刻。
一切看起来都那么简单、优雅、高效。
晚上回到酒店后，华国团队的一位相对年轻工程师激动地对陈磊说：“陈老师，这简直是降维打击！原理这么简单，成本这么低！如果能解决.”
陈磊没有说话，他的眉头越皱越紧，林总真的无所不能到，能够解决整个阿美莉卡半导体研发联盟加在一起都没有办法解决的问题吗？
人类能做到这点吗？
佳能的NIL设备是2023年出货的，原本在2025年就要开始正式进入生产环节，要生产的还不是复杂的逻辑芯片，只是基础的NAND闪存芯片而已。
但即便如此，铠侠和SK海力士都没能解决这一问题。
阿美莉卡的半导体研发联盟就更不用说了，他们也无法解决。
所以林总到底有什么办法能够解决？难不成会是林本坚当年想到用水做隔膜的神来一笔？陈磊内心浮现无数疑惑。
当团队开始深入询问核心技术细节时，正如陈磊所说的那样，他们第一次撞上了那堵看不见的墙。
“铃木先生，”陈磊在一个技术研讨会上提问，“NIL技术的核心，是模板的完美度。
我们可以参观一下你们的模板制造和修复车间吗？”
铃木礼貌地鞠了一躬：“非常抱歉，陈博士。
模板的母版，是使用阿美莉卡应用材料公司的电子束写入设备制造的，其操作流程和缺陷检测，我们的协议，仅限于压印机本身。”
一直坐在后排的阿美莉卡顾问戴维森，此时抬起头，对陈磊露出了一个无可挑剔的微笑。
下午，团队的材料学专家，在分析压印树脂的成分时，再次碰壁。
“铃木先生，这种光敏树脂的化学成分和配比，是实现低缺陷率的关键。
我们能否获取相关的技术资料？”
铃木的回答几乎是复刻了上午的模式：“非常抱歉，博士。
这种树脂是阿美莉卡陶氏化学的专利化合物，我们也是直接进口预封装好的原料盒。
其配方属于阿美莉卡核心商业机密，不在本次技术转让的范围之内。”
到了周末，当团队想要了解如何检测和分类纳米级的压印缺陷时，戴维森终于亲自出马了。
他一边操作着那台昂贵的KLA检测设备，一边友好地解释道：“所以，你们看，通过我们的SpectraShape系统，可以清晰地识别出这些小于10纳米的缺陷点。
当然，解读这些数据的算法模型，以及如何将其反馈到上游工序进行修正，都属于KLA的专利软件服务。
根据协议，我们会为你们在大陆的工厂提供装机和技术支持服务。”
深夜，酒店房间
陈磊和他的几位核心组员，在房间里复盘这两周的收获。最初的兴奋已经荡然无存。
“我明白了，”一位负责工艺整合的工程师喃喃道，“他们不是卖给我们一台机器，他们是卖给我们一个生态位。”
他没有说完的潜台词是：这个生态位嵌入到了他们的生态中无法脱离。
陈磊走到窗边，看着窗外宇都宫市安静的夜景。
“我之前说的没错。”陈磊的声音异常平静，“现在就等林总解题了。
我很好奇，是阿美莉卡想方设法布置的题更难解，还是世界上最杰出的数学大师解题能力更强。”
这也是团队成员们这段时间下来内心剩下的唯一疑问。